工业生产产生的废气对人体健康的危害往往是多方面和综合性的，其中又以二氧化硫、二氧化氮、一氧化碳、重金属烟尘、氟化物、碳氢化合物等化学污染物对呼吸道的危害较为常见。这是因为，呼吸道粘膜对污染物特别敏感并具有很大的吸收能力。因此说，这些行业使用废气处理设备是一个非常必要的措施。为防止废气处理设备系统爆炸事故，要对高浓度废气进行预处理，降低排入废气处理系统的可燃物浓度，如对反应釜废气排放口设冷却或冷冻回收装置，或活性碳纤维吸附回收装置；禁止高于爆炸下限的可燃蒸汽和气体排入废气管道系统。在废气系统设计前，要对各废气吸入点的可燃物浓度进行检测分析，控制各废气吸入点的易燃物质的浓度低于爆炸下限，并要进行正常工作状态或非正常工作状态下的气体浓度检测。
废气处理设备对高浓度废气进行预处理，对各车间内产生的废气进行分析，存在禁忌物质的废气应分开处理。当废气管道内可能沉积危险物质时(如活性碳、叠氮化合物等)时应考虑对废气管道进行定期清洗。在废气管道设计、安装时须应考虑有的斜度，方便积液的排除，避免积液积聚过多而导致废气管变形和残留的混合物过多，引起二次爆炸；并对废气总管内的积液进行定时排液。废气管道在各危险点(如支管接入总管处)设泄爆板，以减少爆炸气体大量回冲反应釜，产生连锁反应。光氧废气净化设备进行催化燃烧的步骤：
1、进入催化燃烧装置的有机气体要经过预处理，除去粉尘、液滴及有害组分，避免催化床层的堵塞和催化剂的中毒。
2、催化燃烧反应放出大量的反应热，因此燃烧尾气温度很高，对这部分热量回收。一般先通过换热器将高温尾气与进口低温气体进行热量交换以减少预热能耗，剩余热量可采用其他方式进行回收，在生产装置排出的有机废气温度较高的场合，如漆包线、绝缘材料等烘干温度可达300度以上，可以不高置预热器和换热器。但燃烧尾气的热量仍应回收。
3、进行催化床层的气体温度要达到所用催化剂的起燃温度，催化反应才能进行。因此对于低于起燃温度的进气，进行预热使其达到起燃温度。特别是开车时，对冷时气进行预热，因此催化燃烧法适于连续排气的净化，经开车时对进气预热后，即可利用燃烧尾气的热量预热进口气体。若废气为间歇排放，每次开车均需对进口冷气癸进行预热，预热器的频繁启动，使能耗大大增加。气体的预热方式可以采用电热线也可以采用烟道气加热，目前应用较多的为电加热。
4、进行催化燃烧的设备为催化燃烧炉，主要应包括预热与燃烧部分。在预热部分，除设置加热装置外，还应保持长度的预热区，以使气体温度分布均匀并在使用燃料燃烧加热进口废气时，保证火焰不与催化剂接触。为防止热量损失，对预热段应予以良好保温。在催化反应部分，为方便催化剂的装卸，常设计成筐状或抽屉状的组装件。
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